NanoCalc Reflektometer Software
Die NanoCalc Reflektometer Software läuft für Ocean Insight Spektrometer wie: Flame-T/S oder USB2000 +, NIRQUEST+1.7-2.5, MayaPro, STS und andere aktuelle Ocean Insight Spetrometer.
Zusammen mit diesen Spektrometern, einem optischen Lichtwellenleiter(Faser), einer OceanOptics-Lichtquelle und der NanoCalc 5.0-Software können wir ein voll funktionsfähiges Dünnschicht-Messsystem bereitstellen.
NanoCalc 5.0 ist die neue Software zur Messung von Dicke und N & K für die Reflektometrie und bietet Funktionen für:
- Schnelle Analyse transparenter und teilweise absorbierender Filme mit einem Dickenbereich von <10 nm - 250 μm.
- Extraktion der Dicke, der optischen Eigenschaften n & k und anderer Schichtparameter.
- Simulation und Messung von Mehrschichtsystemen für transparente und semitransparente Schichten.
- Verbesserte Benutzeroberfläche mit neuen Grafiken und schneller Rezeptauswahl für die Labor- und Produktionsumgebung.
- Analyse von mehrschichtigen Filmstapeln mit bis zu 10 Schichten, einschließlich einer dicken Schicht.
- Verwendung von Referenzsystemen.
- Automatisierte Schichtdickenbestimmung auf Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm mit 2D- und 3D-Grafikanalyse.
- Online-Prozesssteuerung mit Mehrpunktmessfunktion.
- Fernbedienung über OLE-Befehle von externer Software.
- FFT-Analysemethode.
- Hardware-Setup des Reflektometers: OO-Spektrometer, Faser, Lichtquelle, Probenhalter, Stufenwafer.