KaPaTek

führend in der Dünnfilm Schichtdicken Messtechnik

Schnelle Analyse

Von transparenten und semitransparenten Schichten auf Substrat, Schichtdickenbereich: < 10nm bis 250µm

Bestimmung

der Schichtdicke und deren optische Eiegenschaften n & k , EMA Modelle etc.

Simulation

und Messung von Multilayer Schicht Systemen, bis zu 10 Schichten simultan.

KaPatek ist ein Hersteller von optischen Schichtdicken Messsystemen basierend auf dem Meßprinzip der spektroskopischen Reflektometrie.
Seit mehr als 25 Jahren beschäftigen wir uns mit optischen Dünnfilm Messystemen zur Schichtdickenmessung von optisch transparenten und semitransparenten Schichten und bieten unseren Kunden Komplettlösungen für die Qualitätskontrolle im F&E Bereich und in der Produktion. Die spektroskopische Reflektometrie ist ein sehr schnelles, nichtzerstörendes und hoch präzises Dünnfilm Meßverfahren, geeignet für Ex- und Insitu Anwendungen.
Mit unseren NanoCalc Reflektometer Dünnfilm Meßsystemen erfüllen wir all diese Kriterien und bieten unseren Kunden einfach zu bedienende, hochgenaue und preislich sehr günstige Meßtools für Metrologieanwendungen.

NanoCalc Produkte

NanoCalc VIS Aufbau

NanoCalc VIS Aufbau

USB2000+ VIS Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, HL-2000-FHSA Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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NanoCalc XR Aufbau

NanoCalc XR Aufbau

USB2000+ XR Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, DH-2000-BAL Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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NanoCalc NIR Aufbau

NanoCalc NIR Aufbau

NIR-Quest Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, HL-2000-FHSA Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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NanoCalc DUV Aufbau

NanoCalc DUV Aufbau

Maya-Pro Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, HL-2000-FHSA Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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NanoCalc KOMBI XR-NIR Aufbau

NanoCalc KOMBI XR-NIR Aufbau

STS Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, LED- Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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NanoCalc STS(VIS/UV/NIR) Aufbau

NanoCalc STS(VIS/UV/NIR) Aufbau

Doppelspektrometer: USB2000+XR u.NIR-Quest Spektrometer, NanoCalc 5.0 Software, DH-2000-BAL Lichtquelle, Faser, Stativ, Kalibrier Wafer(Step-Wafer)

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FAQs

Auf PCs mit Win7, Win10 mit 32 bit oder 64 bit, jedoch nicht unter Linux oder OSX.
Die Lieferung der Software erfolgt über ein Speichermedium oder per Download.
Primär die Messung der Schichtdicke von optisch transparenten und semitransparenten Schichten.
Man kann die optische Dicke (geometrische Dicke x Brechungsindex) bestimmen, wenn man den Brechungsindex perfekt kennt.
NanoCalc kann bis zu 10 unbekannte Schichten simultan messen. Maßgabe ist, die Dispersionsverläufe sind bekannt.
Die NanoCalc Vollversion arbeitet nur in Verbindung mit einem Ocean Insight Spektrometer, wie Falme-T, Maya Pro, NIRQuest etc.
Bei genügender Stabilität der Lampenintensität absolut ca. +-1nm.
Vorsicht: bei dicken Schichten hat die Schicht selbst i.a. eine Dickenvariation, die weit höher liegt.
Es gibt die Cauchy-Modelle für Lacke, Isolatoren etc. Für komplexere Aufgaben gibt es eine Schnittstelle zur externen Software SCOUT.
Im reinen Faserbetrieb: 200µm - 400 µm Faserdurchmesser.
Der Arbeitsabstand beträgt 2 bis 5 mm.
Das geht, damit kann man den Messfleck bis zu 10µm und kleiner minimieren.
Allerdings sollte man hier Objektive mit genügend kleiner Apertur und Vergrößerung nehmen, damit die Bedingung des senkrechten und parallelen Lichteinfalls noch gewährleistet sind.
Über eine USB Schnittstelle. Es wird ein Spektrometertreiber mit dem Setup mitgeliefert und beim Setup in die Windows-Registry eingetragen. Das Setup muss vom PC-Administrator ausgeführt werden.
NanoCalc kann bis zu 2 Spektrometer ansprechen. Sinnvoller Weise zwei getrennte Spektrometer die sich spektral ergänzen, z. B. ein USB Flame-T Spektrometer im VIS Bereich und ein NIRQUEST Spektrometer für den NIR Bereich. Damit wird spektral ein Bereich von 200nm bis 2500nm abgedeckt.
NanoCalc hat eine Remote-Schnittstelle, die man von anderen Programmiersprachen aus ansteuern kann (C, C++, Labview, VB.Net, VBA, VB6).
Man kann mit einem Zusatzmodul auch Online-Messungen machen. Die Rate hängt davon ab, ob die Spektren auch unmittelbar nach der Messung ausgewertet und abgespeichert werden sollen. Typisch sind einige Messungen/Sekunde (nicht hunderte).
NanoCalc kann an jedem Win7oder Win10 Rechner installiert werden. Wenn aber kein entsprechendes USB Spektrometer angeschlossen ist, dann funktioniert NanoCalc nur in einem eingeschränkten Demo Mode.
Es gibt auf der KaPaTek hompage NanoCalc Tutorials die dem Anwender die grundsätzlichen Funktionen von NanoCalc erklären.
Hier geht es zu den Nancalc Tutorials.